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兴安碳化硅化学气相沉积炉

兴安碳化硅化学气相沉积炉

  • 所属分类:兴安气相沉积炉
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  • 发布时间:2023-02-07 17:38:24
  • 产品概述

产品概述:

CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品,设备通过热解碳源气体,而使预制体获得致密处理或涂层处理,其中快速气相沉积设备(CVI),具有更高的碳利用率,以及更高的生产效率。该化学气相沉积炉(碳化硅)可用于以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

化学气相沉积炉主要特点:

1、采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

2、采用石墨箱密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

3、采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

4、对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

5、采用防腐蚀真空机组设计,持续工作时间长,维修率低。

6、独特的炉内工件旋转机构,能有效的保证产品沉积材料的均匀性。

应用范围:

气相沉积炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD气相沉积处理。

公司产品优势:

1,自动化程度高,可实现一键置换(炉内抽真空,冲氩气过程),运行过程中全程水电气自动监控,触摸屏仿真随时可观察设备运行状态,设备报警指示,升温曲线,开关机操作都可在触摸屏上查看和操作。

2,真材实料,炉体内胆和管道全部采用316耐腐蚀不锈钢或者特氟龙防腐喷涂,出厂前经过检漏测试。抗腐蚀和密闭性能好。

3,安全高,炉体部分安装自动防爆阀,安全可靠。感应器部分单独安装流量开关,实时监控水流情况。电源严格有效的按要求设定过电流值,过电压值。

4,设备集成监控界面可在PC端远程监控,管理者可以随时观察设备运行状态,调取设备运行记录与工艺参数。

气相沉积炉规格:

气相沉积炉规格

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气相沉积炉规格

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